屏幕上,28nm的晶体管阵列整齐排列,线条边缘光滑如镜,没有一丝毛刺。
“线宽均匀度98.7%!”测试主管的声音带着颤抖,“符合设计标准!”
控制中心里响起第一阵压抑的掌声,随即又迅速安静起来。
因为真正的“大考”还在后面,接下来的蚀刻、离子注入、金属沉积……还有100多道工序,任何一步失误都会让前面的努力功亏一篑。
时间一分一秒过去,晶圆在不同车间流转,控制中心的屏幕上实时更新着每道工序的参数:蚀刻深度误差≤2%,离子掺杂浓度均匀性≥99%,金属布线良率95%……
数据曲线像一条绷紧的弦,时高时低,却始终在合格线以上徘徊。
因为整个流程不是一两个小时就能完成的,所以领导们是专门抽出了一天的时间,留在这里,要亲眼看到光刻工厂的正式投产的情况。
如果出现问题,就要立即找出问题,并解决。
如果成功的话,那就立刻汇报上去,这将会成为又一个领先全球的技术,极大地增强我们的话语权和竞争力。
到了中午的时候,是专门送来的盒饭,而不是专门去外面吃。
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